“邯郸·中国气谷”电子气体生产制造核心区

“邯郸·中国气谷”电子气体生产制造核心区项目以中船（邯郸）军民融合产业示范区肥乡新材料产业园为依托，在肥乡区建设国际一流水平的电子气体生产制造核心区。以中国船舶集团有限公司第七一八研究所02国家科技重大专项“极大规模集成电路用特种电子气体研发及产业化项目”科技成果为支撑，通过各方资源合理配置，优化工艺参数，提升纯化技术水平，实现高纯电子气体的国产化、规模化生产，研发新一代电子气体纯化、高精度配比等关键技术，同时开展集成电路存储、逻辑芯片制造过程中薄膜沉积工艺使用的金属有机化合物的产品研发。到2030年，系列电子气体产能达到50000吨，国际市场占有率突破50%。